문제 1
현재 널리 사용되고 있는 유도결합 플라스마의 고주파 전원으로 알맞은 것은?
1.
라디오고주파 발생기의 27.12 MHz 로 1 kW 출력
2.
라디오고주파 발생기의 40.68 MHz 로 5 kW 출력
3.
라디오고주파 발생기의 27.12 MHz 로 100 kW 출력
4.
라디오고주파 발생기의 40.68 MHz 로 1000 kW 출력
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